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產(chǎn)品詳細頁
SC-1濃度計

SC-1濃度計

產(chǎn)品介紹

概要
CS-131是半導(dǎo)體制造中清洗工藝的SC-1溶液用于高精度藥液濃度的監(jiān)測儀，實現(xiàn)了過去所沒有的高速響應(yīng)性和小巧化?？梢猿r間的監(jiān)測微粒以及有機物的清除作業(yè)中所使用的SC-1溶液(NH3/H2O2/H2O)各成分濃度。通過使用監(jiān)測輸出的回收控制，可以確保SC-1溶液的濃度在允許范圍內(nèi)，同時，還可以避免不必要的更換藥液工作。并且，冷卻器一體型也進入了產(chǎn)品陣容內(nèi)，可適用較大范圍的樣品溫度。

特點

監(jiān)測周期大約為2秒，支持300mm工藝的濃度管理
實現(xiàn)了以大約2秒為監(jiān)測周期(※)的高速響應(yīng)。支持向批次式和單槽式清洗裝置定時反饋濃度信息。(※不包含藥液的置換時間、冷卻時間)

小巧化設(shè)計有利于節(jié)省清洗裝置的空間
由于底面面積只有原來的2/3(※)左右，這種小巧化設(shè)計有利于清洗裝置節(jié)省空間?？梢院苋菀椎亟M裝到清洗裝置中。
(※和本公司產(chǎn)品CS-220系列進行比較)

通過減少清洗工藝中的批次不良，提高產(chǎn)量
通過濃度計的信號輸出，進行SC-1溶液的補給控制，從而實現(xiàn)高再現(xiàn)性的清洗。減少清洗工藝中的批次不良，從而推進產(chǎn)量的全面提高。

全自動監(jiān)測與簡易控制
用戶只需引入SC-1溶液即可。監(jiān)測是全自動方式，因此開始監(jiān)測后不需要進行任何控制。另外，由于參照光譜測量時使用的是空氣，所以不需要用水。

通過采取全面的氣泡對策，可監(jiān)測高溫樣品
在脫泡槽中分離氣泡，在監(jiān)測過程中進一步利用電磁閥把氣泡混入監(jiān)測單元內(nèi)的發(fā)生次數(shù)抑制在zui低限度。并且，如果是冷卻器一體型產(chǎn)品，則可以直接倒入高溫度樣品至濃度計。溫度補償將自動進行。

采用DC24V，實現(xiàn)高安全性
電源采用DC24V低壓電，提高了安全性以避免觸電事故的發(fā)生。并且，由于內(nèi)置漏水傳感器，在發(fā)生漏水時可以切斷SC-1溶液的供應(yīng)等，采取緊急措施。

SC-1濃度計

CS-131

技術(shù)規(guī)格

型號和規(guī)格

CS-131：無冷卻器
CS-131C：冷卻器一體型

監(jiān)測對象

SC-1(氨/過氧化氫水溶液)

測量原理

吸收光譜測定法

濃度計算的原理

溫度補償型多變量解析法

監(jiān)測范圍

氨：0.00〜1.00% / 0.00〜3.00% / 0.00〜5.00%
過氧化氫：0.00〜5.00% / 0.00〜7.00% / 0.00〜10.00%
水：94.0〜 100% / 90.0〜 100% / 85.0〜100%

再現(xiàn)性

氨： ±0.15% / ±0.2% / ±0.25%
過氧化氫： ±0.3% / ±0.3% / ±0.3%
水　　　　： ±1.5% / ±1.5% / ±1.5%

藥液條件 溫度

CS-131：20〜30℃
CS-131C：20〜80℃

藥液條件 流量

CS-131：20〜60mL/min
CS-131C：20〜40mL/min

藥液條件 壓力

0.10〜0.20MPa

監(jiān)測周期

zui小約2秒(不包含藥液的置換時間・冷卻時間)

設(shè)置溫度

20〜25℃

操作面板

1)溫度檢測值的顯示：氨、過氧化氫、水
2)報警信號的顯示(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下 限、濃度上限、濃度上上限
3)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限，濃度上限、濃度上上限

串行輸入

RS-232C
1)濃度數(shù)據(jù)：氨、過氧化氫、水
2)報警信號值的設(shè)定(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限

并行輸入

DC12〜30V(光電耦合器絕緣)
并行溫度報警(有效/無效)

并行輸出

開路集電極輸出為ON 時的zui大電流：5mA、為OFF時的zui大電壓：30V
1)報警信號輸出(氨、過氧化氫)：濃度下下限、濃度下限、濃度上限、濃度上上限
2)裝置異常
3)漏液

模擬輸出

4〜20mA(2輸出：NH3濃度、H2O2濃度的2輸出)
＊與量程規(guī)格技術(shù)規(guī)格無關(guān)，可以使4〜20mA輸出對應(yīng)于0〜10%濃度。(請在訂貨時)

電源

DC24V±10%， 2A

外形尺寸

CS-131：205(W)×329(D)×269(H)mm
CS-131C：291(W)×329(D)×269(H)mm

質(zhì)量

CS-131：約11kg
CS-131C：約12kg

連接配管尺寸

導(dǎo)入用、排出用外徑均為3mm(內(nèi)徑均為2mm)

配管接頭

Nippon Pillar Super型

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